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微觀二維形貌輪廓臺階儀工作時，觸針沿被測表面輕輕滑過，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。

SuperViewW國產白光顯微干涉三維形貌檢測儀可應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

NS系列探針式膜層厚度表面粗糙度臺階儀可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。樣品適應面廣，對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，數據復現性高、測量穩定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

VT6000太陽能電池片形貌共聚焦測量顯微鏡結合精密縱向掃描，在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點，從而重建出3D真彩圖像進行分析。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器NS系列臺階厚度儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在薄膜厚度的測量上具有很強的優勢。

VT6000高分辨率顯微鏡共聚焦光學系統以轉盤共聚焦光學系統為基礎，基于光學共軛共焦原理，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成高精度測量系統。能在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進行分析。

中圖儀器NS系列薄膜厚度臺階測量儀集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，具備超高的測量精度和測量重復性。它主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。

中圖儀器SuperViewW納米級高精度白光干涉測厚儀的復合型EPSI重建算法，解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區域，不見一絲重疊縫隙。